三坐标测量机的测量精度要求很高，且其部件繁多，结构复杂，影响测量误差因素多。三坐标测量机这种多轴机器主要有以下四种的静态误差源：
（1）由于结构件（如导轨和测量系统）的有限精度造成的几何误差。这些误差由这些结构件的制造精度和安装维护中的调整精度来决定。
（2）与三坐标测量机的机构件的有限刚度有关的误差。主要由移动部件的重量引起。这些误差由结构件的刚度、重量和它们的配置来决定。
（3）热误差，例如单一温度变化和温度梯度引起的导轨的膨胀和弯曲。这些误差由三坐标测量机的机器结构、材料特性和温度分布决定，并受外热源（如环境温度）和内热源（如驱动装置）的影响。
（4）测头与附件误差，主要包括由于换测头、加接长杆、加接其它附件引起的测头测端半径的变化；测头在不同方向和位置触测时的各向异性误差；分度台转动带来的误差等。