在线三坐标上使用直线电机，是在线三坐标测量机的硬件革新升级，有如下诸多优势：
1）结构简单。直线电机不需要经过中间转换机构而直接产生直线运动，使结构大大简化，运动惯量减少，动态响应性能和定位精度大大提高；
2）适合高速直线运动。因为不存在离心力的约束，普通材料亦可以达到较高的速度。
3）易于调节和控制。通过调节电压或频率，或更换次级材料，可以得到不同的速度、电磁推力，适用于低速往复运行场合。
4）适应性强。直线电机的初级铁芯可以用环氧树脂封成整体，具有较好的防腐、防潮性能，便于在潮湿、粉尘和有害气体的环境中使用；
5）高加速度。这是直线电机驱动，相比其他丝杠、同步带和齿轮齿条驱动的一个显著优势。
6）傻瓜式手动编程。这是因为直线电机下电后，可以直接手动推动三个轴的自由移动，可以直接将需要移动的三轴位置记录后编入运行程序，让编程傻瓜化。