三坐标测量仪就是在三个相互垂直的方向上有导向机构、测长元件、数显装置，有一个能够放置工件的工作台(大型和巨型不一定有)，测头可以以手动或自动方式轻快地移动到被测点上，由读数设备和数显装置把被测点的坐标值显示出来的一种测量设备。三坐标测量仪是用来测量工件物体的尺寸包括尺寸之间的关系的，如长度，对称度，直径，圆柱度等尺寸和形位公差。

激光干涉仪，是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，可作为精 密工具机或测量仪器的校正工作。但是测量工件的仪器须有移动轴或者外部有移动轴，若用激光干涉仪测量工件的长度就测不了。

从上可以看出三坐标测量仪和激光干涉仪两者还是有本质区别的。